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負壓通常指爐內壓力低于常壓（101.325 kPa），可能由以下原因引起：
1. 真空系統故障：真空泵效率下降或閥門泄漏，導致抽氣速率異常（如低于額定值0.5 L/s）。
2. 密封不良：法蘭墊片老化、爐管接口松動或石英管裂紋（裂紋寬度≥0.1 mm時需更換）。
3. 氣體流量失衡：進氣量不足（如設定值＜200 sccm）或排氣過速。
4. 溫度波動：急速升溫（＞10℃/min）導致氣體體積收縮，壓力驟降。
1. 檢查與修復密封性
- 使用氦質譜儀檢測泄漏點，泄漏率應＜1×10?? Pa·m3/s（ISO 3567標準）。
- 更換耐高溫硅膠墊片（耐溫≥300℃）或金屬密封圈（適用于高壓差環境）。
2. 優化真空系統運行
- 定期清潔真空泵油，油位需保持在視窗的2/3處（參考Edwards真空泵手冊）。
- 檢查機械泵極限真空度，若＞10 Pa需檢修或更換。
3. 調整工藝參數
- 平衡進氣與排氣流量，建議進氣壓力維持在-0.02～-0.05 MPa（根據爐型調整）。
- 采用階梯升溫程序，如先以5℃/min升至200℃，再逐步提高速率。
4. 應急處理與預防
- 突發負壓時立即關閉真空閥，通入惰性氣體（如氮氣）平衡壓力。
- 每月校準壓力傳感器，誤差需＜±1% FS（滿量程）。
- 安全優先：負壓環境下嚴禁打開爐蓋，避免爆沸風險。
- 數據記錄：實時監測壓力曲線，異常波動（如10秒內下降＞5 kPa）需停機排查。
- 維護周期：每運行500小時更換密封件，每1000小時全面檢測真空系統。
通過系統性排查與科學調控，可有效解決管式爐負壓問題，延長設備壽命并保障實驗精度。實際應用中需結合具體工況靈活調整參數，必要時咨詢專業技術人員。
